vakuumska črpalka z vijakom Roots za proizvodnjo polprevodnikov

Rootsova vijakova vakuumska črpalka je sestavljena iz Rootsove vakuumske črpalke in vijakove vakuumske črpalke, ki sta povezani v serijo za učinkovito črpanje, in je ena od pomembnih naprav za industrijsko proizvodnjo in znanstvene raziskave.

Opis

Rootsova vijakova vakuumska črpalka združuje prednosti Rootsovih črpalk in vijakovih črpalk ter ponuja čisto, učinkovito in brez olja vakuumsko rešitev za zahtevne industrijske in laboratorijske aplikacije. Zaradi zasnove z zapornim tesnilom in brez mazalnega olja te črpalke ohranjajo visoko čistost in izjemno zmogljivost med delovanjem.

Načelo delovanja Rootsove vijakove vakuumske črpalke

  • Vakuumska črpalka z vijakom (predstopnja):Deluje kot predstopnja črpalke in zagotavlja visoke črpalne hitrosti in nizek izpušni tlak. Mehanska kompresija prek natančnih vijačnih vrzeli zagotavlja učinkovito delovanje z nizko ravnjo hrupa in vibracij.
  • Rootsova vakuumska črpalka (glavna/vmesna):Sinhrono vrteči se dvojni rotorji prenašajo izpušne pline iz sesalne v izpušno komoro. Tesnjenje z reže preprečuje onesnaženje z oljem in ohranja čisto vakuumsko okolje.
  • Serijsko delovanje:Obe črpalki delujeta v seriji, vijakova črpalka povečuje vakuumsko raven, Rootsova črpalka pa zagotavlja stabilno, neprekinjeno učinkovitost črpanja.

Prednosti delovanja

  1. Varčevanje z energijo:Optimizirano razmerje med hitrostjo črpanja in stopnjo vakuuma zmanjšuje porabo energije in presega tradicionalne vakuumske sisteme v energijski učinkovitosti.
  2. Visoka učinkovitost:Dosega več kot 90 % učinkovitost črpanja in zagotavlja visoko stopnjo vakuuma z nizko porabo energije za različne procese.
  3. Varnostna zaščita:Napreden krmilni sistem z avtomatskim zagonom/zaustavitvijo, zaščito pred preobremenitvijo, prenapetostjo in prekinitvijo dovoda vode zagotavlja dolgoročno stabilnost.
  4. Kompaktna zasnova:Vertikalno zlaganje ali lestevasta struktura zmanjšuje prostorske zahteve, kar je idealno za tovarne in laboratorije z omejenim prostorom.
  5. Prilagodljiva konfiguracija:Nastavljivo razmerje hitrosti črpanja med črpalkami (1:2 do 1:8) za prilagajanje različnim delovnim zahtevam.
  6. Zaščita proti koroziji:Površine za prelivanje so obdelane ali izdelane iz korozijsko odpornih materialov, primernih za ekstrakcijo korozivnih plinov in delovanje v zahtevnih okoljih.

Področja uporabe

  • Kemična industrija:Črpanje hlapnih organskih topil, plinov in za uporabo v vakuumskih reaktorjih – široko uporabljeno v kemičnih in farmacevtskih procesih.
  • Proizvodnja polprevodnikov:Podpira vakuumsko nanašanje, čiščenje in jedkanje.
  • Živilska industrija:Nujno potrebno za pakiranje živil, dehidracijo in vakuumsko sušenje.
  • Metalurška industrija:Izvleče plin v metalurških pečeh in laboratorijih za stabilizacijo talilnih procesov.
  • Laboratorijske in znanstvene raziskave:Idealno za vakuumske poskuse in zajemanje plinov v znanstvenih okoljih.
  • Elektronska industrija:Uporablja se pri proizvodnji integriranih vezij, vakuumskem prevlekanju zaslonov in drugih proizvodnih procesih v elektroniki.